高温プローブステーション CPS-HT

モデルCPS-HTは、真空中または制御されたガス環境下で、市場で最も高い温度でのデバイスのテストと特性評価を行うためのMicroXactの高温プローブシステムです。2" x 2" (50mm x 50mm)までのサンプルをテストするためのマニュアルウェハープローバーと、100mm以上のウェハーをテストするためのモーター駆動またはセミオートマチックシステムを提供しています。これらのシステムは、真空中で700℃まで、または大気圧下で650℃までの試料をテストすることができます。 特徴 - プローブアームは、外部手動マイクロマニピュレーターで調整できます。 - 空冷または液体窒素冷却のサーマルチャックが使用できます。 - 4μm以上の解像度を持つ7:1Xズームチューブを標準装備。 12.5:1、16:1ズームレンズも使用可能です。 - 真空ポンプの振動を効率的に遮断します。 - 高速加熱、高速冷却が可能