半自動プローブステーション SPS-2 series

真空

SPS-2600-VACおよびSPS-2800-VACシリーズは、真空または制御ガス雰囲気において、最大100mmまたは最大200mmのウェハーを電動または半自動でプロービングできるように設計されたマイクロザクト社の真空プローブシステムです。この真空テストソリューションは、システマティックで正確、コスト効率が良く、低ノイズで使い勝手の良いものです。これらの真空プローブシステムは、振動補正された汎用性の高いプラットフォーム上に構築されており、様々なプローブアプリケーションに対応できるように構成することが可能です。77Kまでのアイシングフリー試験や、酸化しやすいデバイスやコンポーネントの高温試験に最適なMicroXactの真空プローブシステムは、制御された環境のウエハレベルプロービングを提供します。 真空プローブステーションの特徴 - 標準的な繰り返し精度/分解能（±7mm/1.5mm）と高い繰り返し精度/分解能（2mm/100nm以上）のXおよびYの測定が可能です。 - 手動または電動シータステージ。 - プローブアームは、手動式マイクロマニピュレーターで調整可能です。 - 液体窒素冷却のサーマルチャックにより、液体窒素温度までのテストが可能。 - 4μm以上の解像度を持つ7:1Xズームチューブを標準装備。 12.5:1、16:1ズームレンズもご用意しています。高解像度の化合物顕微鏡も、上蓋を工夫することで対応可能です。 - 真空ポンプの振動を効率的に遮断します。 - XactTest™自動化ソフトウェアに、自動圧力制御機能を追加しました。