極低温プローブステーション CPS-XXX-CF

CPS-XXX-CFは、半導体デバイスや回路の低温テストや極低温ウェハースケールテストをコスト効率よく、安定的に、信頼性高く、便利に行うことができるプローバです。内蔵の防振装置、スマートな熱管理、工学的な熱膨張補正により、この極低温プローブステーションシステムは、ナノエレクトロニクス（グラフェン研究、分子エレクトロニクス、量子コンピュータなど）から宇宙ベースのエレクトロニクスまで、幅広いアプリケーションに理想的なシステムとなっています。クローズドサイクル冷凍機と独自の熱管理により、安価で高速な運用が可能です。マイクロザクトの極低温プローバは防振構造になっており、振動を業界標準のレベルまで低減しています。超安定なマイクロマニピュレーターステージにより、プローブ先端をデバイス形状に正確かつ再現性よく接触させることができます。豊富なプローブとウェーハチャックにより、超精密fAスケール測定からRF測定まで、幅広い用途に対応します。MicroXactの極低温プローブステーションでは、様々なプローブマニピュレーターやプローブチップが使用可能です。 極低温プローバステーションの特徴 - コスト競争力、安定性、信頼性、使い勝手の良さを兼ね備えています。 - 極低温ウェハースケールテストと低温半導体テスト。 - 4Kから480Kまでの温度範囲（0.1K以上の精度）。異なるCCRを取り付ければ、異なるレンジも可能。 - クローズドサイクル冷凍機により、費用対効果の高い無冷媒運転が可能。 - 最大1インチ、2インチ、4インチ、6インチ、8インチ径のウェハーの低温デバイス特性評価（モデルによって異なる）。