3軸マイクロ ポジショナー

電磁ベース精密

プローブステーションのアクセサリーは、MicroXactのどのプローブステーションでも使用できます。その中には、プローブチップの精密な位置決めとアライメントを簡単かつ確実に行うために設計された、幅広いマイクロポジショナーも含まれています。 5ミクロン以上の形状には、1回転あたり0.025インチの分解能を持つ非常に手頃な3軸のマイクロポジショナをご用意しています。これらのポジショナーは、X、Y、Z方向に0.300 "の可動範囲を有しています。 5ミクロン以下の微細な形状に対して、X、Y、Z方向に0.500インチの可動範囲を持つプレミアムマイクロポジショナーを提供しています。また、バキュームベースとマグネティックロックベースのいずれかを選択することができます。