半自動プローブステーション SPS-HP series

高精度な半自動化システム - XYチャック電動、Zチャック電動を標準構成。オプションでθ軸の電動化も可能。 - ステッピングモーターを使用し、リニアエンコーダを搭載。 - 位置決めスペックとしてはコスト競争力があります。 - 少量生産でのテスト・試作に最適です。 仕様 - ウエハーサイズ 最大300mmまで - モータータイプ ステッピングモーター - XYステージ移動量 最大300mm×300mm - XYステージ分解能、繰返し位置決め精度 電動式、分解能0.15μm、繰り返し精度±1.2μm - XY速度(最大) 50mm/s - Z速度（最大） 10mm/s - プラテン移動量 12.7mmまたは25mm - プラテン調整 粗微動デュアルコントロール、繰り返し精度1μm以下 - プラテン平坦度 <200mm間で12.7μm以下 - プラテン剛性 <50μm以下（4.5kgの場合 - バキュームチャック マルチゾーン真空 - チャック平面度 +/-13μm以下 - チャック破壊電圧 500V以上 - チャック絶縁 1GΩ以上 - チャック調整 360°粗動、±6°微動 - 顕微鏡 最大200mmのワーキングディスタンス、3.5倍から180倍までの高倍率ステレオズーム - フィードスルー端子 BNC、Triaxまたはバナナプラグ - システム寸法 幅101cm x 奥行き91cm x 高さ88cm