半自動プローブステーション SPS-HS series

高速半自動化システム - SPS-2600はXYチャック、プラテンが電動、SPS2800はチャックのZ動作が電動が標準構成です。オプションでθ軸の電動化も可能です。 - サーボモーターベース、リニアエンコーダ。 - 非常にコスト競争力のある、高速、高生産性のソリューションです。 - 中規模生産など、スループットが重視される用途におすすめです。 仕様 - ウエハーサイズ 最大300mmまで - モータータイプ サーボモータ - XYステージ移動量 最大300mm×300mm - XYステージ分解能、繰返し位置決め精度 電動式、分解能0.15μm、繰り返し精度±1.2μm - XY速度/加速度 (最大) 最大1000mm/s、最大35mm/s2 - Z速度 20mm/s - プラテン移動量 12.7mmまたは25mm - プラテン調整 粗微動デュアルコントロール、繰り返し精度2.5μm以下 - プラテン平坦度 <200mm間で12.7μm以下 - プラテン剛性 <50μm以下（4.5kgの場合 - バキュームチャック マルチゾーン真空 - チャック平坦度 +/-13μm以下 - チャック破壊電圧 500V以上 - チャック絶縁 1GΩ以上 - チャック調整 360°粗動、±6°微動 - 顕微鏡 最大200mmのワーキングディスタンスと3.5倍から180倍までの高倍率ステレオズーム - フィードスルー端子 BNC、Triaxまたはバナナプラグ - システム寸法 幅101cm x 奥行き91cm x 高さ88cm