赤外線ビデオ顕微鏡 VMU series

検査用明視野式暗視野式

顕微鏡ラインアップ｜システム構築やトータルソリューションをお探しなら、日立ソリューションズをご利用ください。 -小型・軽量のカメラ観察専用顕微鏡ユニット。 金属表面、半導体、液晶基板、樹脂などの検査に適しています。 -YAG（近赤外、可視、近紫外、紫外）レーザーを使用した半導体ウェハーの検査やリペアなど、専用機への搭載に適したOEM製品として一般的に使用されている汎用性の高い顕微鏡ヘッドです。 - レーザー搭載システム製品の性能・安全性を保証するものではありません。 半導体回路の切断・修正・加工/薄膜の加工・絶縁膜の加工/液晶フィルターのリペア(故障修正) 半導体故障解析用プローバーの光学観察用としても最適です。 -VMU-LB、VMU-IBでは、従来機種に比べ顕微鏡マムユニットの剛性、総合性能が向上しています。 -用途* シリコン系の内部観察、赤外による分光特性解析など。 -赤外線セメと赤外線カメラが必要です。 -表面照明光学系に開口絞りを装備したテレセントリックシステムを標準装備。 均一な照明が必要な画像処理に最適 寸法測定、形状検査、位置決め等に使用可能。 -ダブルカメラ搭載、ダブル（低・高）倍率など、ご要望に応じた設計・製作が可能です。