真円度/円筒度測定システムは、世界クラスの精度と優れた操作性/分析能力を兼ね備えています。
世界最高水準の精度と優れた操作性
世界最高水準の精度
高精度自動調芯・整準ターンテーブル
高精度・高剛性ターンテーブルは、優れた剛性を実現する高精度エアービアングに加え、重要部品の卓越した製造精度により実現しました。その結果、真円度/円筒度測定システムの心臓部である回転精度は、(0.02+3.5H/10000)pmと世界最高水準に達している。
高剛性ベース
測定システムが高精度を実現するためには、その土台となるベースが完全な剛性でなければならない。そこで、FEM構造解析シミュレーションを活用し、ベースとその用途を徹底的に解析。その結果、高剛性ベースを開発した。
高精度Z軸コラム
完全な真直度を実現するために重要なコラムガイド面の製作精度を究極まで向上させ、ミツトヨ独自のシステムと機構を採用することで、コラム真直度0.05prrV100mm(狭域)という超高精度を実現しました。
高精度位置決めセンサ
X軸、Z軸駆動部の位置決めセンサにミツトヨ製リニアエンコーダを搭載し、各ユニットの変位を直接検出することで、繰り返し測定に不可欠な高精度位置決めを実現しました。
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