熱式質量流量調節器 IE50A

ガス用

IE50Aのマスフローのコントローラーは一般目的、5 sccmからのフル・スケール50 slmへのフロー制御の機能のエラストマー密封されたMFC N2の等量である。 それはデジタルフロー制御の電子工学および証明された、特許を取られた熱センサーおよび機械設計の最新情報を組み込む。 IE50Aはアナログと提供されるディジタル式MFC (0から5 VDCか4-20 mA)またはデジタルいろいろ(RS485、Profibus®およびDeviceNet™)入力/出力である。 デジタル制御の電子工学は制御範囲中のセット・ポイントへの速く、反復可能な応答のためにMKSの制御アルゴリズムの最新情報を利用する。 典型的な応答時間は500ミリ秒の順序にある。 デジタル口径測定は(含まれている)口径測定のガスのセット・ポイント正確さの1%をもたらす。