熱式質量流量調節器 IE1000A

ガス用

IE1000Aのマスフローのコントローラーはエラストマー密封される、多ガスか多重範囲MFCは液体および塵の進入への抵抗が必要である粗い産業環境のためにの使用設計されている。 IE1000Aは501から1000年のslmまで及ぶことができる(N2の等量)。 この広い流れの範囲は他の高い流れのマスフローのコントローラーよりずっと低い閉鎖した導電率の漏出率を維持している間セット・ポイント変更に急速に答える独特な制御弁の設計によって可能になる。 セット・ポイントの1%の下の2から3秒そしてセット・ポイント正確さの演算時間を典型的で高い流れのマスフローのコントローラーを超過する。 精密な制御はIE1000Aによって形成されるフル・スケールの流れの範囲の2%に維持される。 正確さ、制御範囲および過渡応答のための多ガスか多重範囲機能および堅い性能指定は流れのコントローラーの目録条件を最小にする。