高濃度オゾン発生器 SEMOZON® AX8410 PRIME

研究所用コンパクト

SEMOZON® AX8410 PRIMEは、コンパクトで高濃度、高流量、ウルトラクリーンなオゾン発生器のMKSの次世代プラットフォームにおける初期製品です。 新たに設計されたセルとパワー構造を採用し、同じフットプリントを持つ以前のモデルの2 倍のオゾン出力を実現しています。 SEMOZON® AX8410 PRIMEは、無音放電により酸素をオゾンに変換します。 特許取得済みの新しいセル設計は、最大 80slmまでの流量で高いオゾン濃度を必要とする新しいプロセス要件をサポートします。 AX8410 PRIMEジェネレータは、流量の増加と高濃度の位置により、次世代の半導体プロセスのオゾン要件を満たします。