熱式質量流量調節器 1640A

ガス用

MKSの器械1640はマスフローのコントローラーをであるメーターで計るように設計されている標準的な3インチの足跡の金属密封された器械圧力基づかせ、低ラインのガスの流れを制御するために熱マスフローのコントローラーが正確に流れを測定する機能で限られる適用に圧力をかけなさい。 1640年は上流制御圧力が二度少なくとも下流圧力のとき開口部を通る音波の流れ、満たされる条件の原則を利用する。 このような状態で、マスフローは制御圧力に比例している。 1640Aでは圧力基づいていた固まりFloのコントローラーは重大な開口部の上流で、Baratron®キャパシタンス圧力計圧力を監察する。 この圧力は流れに比例している。 測定された圧力はセット・ポイント流れと制御電子回路で比較される。 制御信号はそれからセット・ポイント流れを用いる一致に実際の制御圧力(流れ)を持って来るように要求されるように導電率に比例した制御弁を運転する発生する。