ボールバルブ

サーボドライブ調圧2 レベル

HPS® シリーズは、MKSインスツルメンツが開発した絶縁バルブです。 精密な真空分離を備えたステンレス製の構造です。 これは、ベローズおよびボールバルブ、手動、空気圧および電気空気圧作動式バルブが暖かいまたは非加熱角度で装備されています。 このユニットには、インライン構造、安全遮断バルブ、ソフトスタートバルブも付属しています。 さらに、圧力制御バルブには、制御サブシステムを備えた振り子、バタフライ、ベーン、ポペットスロットルバルブが用意されています。