プロセス ガス用分析器

水用ガス記録

MKS Intrumentsによって製造された多ガスの検光子はプロセスガスのために特に使用される。 装置は赤外線フーリエ変換(FTIR)およびnondispersive赤外線(NDIR)を使用する。 装置はNF3、NH3、H2、NOおよびN2OのようなガスのためのPPMの感受性にppbがまた可能ではない。 それはまた30%水が付いているガスで使用することができる。