質量分析計 RGA

プロセスPMT

MKSの器械によって製造されたRGAシリーズはタイプのプロセス質量分析計である。 装置は革新的なプロセスモニタリングの器械である。 それらは残りのガス分析器、RGA、分析的な装置および制御ソフトウエアのようなアプリケーション・パッケージと結合される。 真空の監視は超高真空、CVDプロセス、真空ベースラインRGA、等から成っている。