バタフライバルブ

調圧ガス用

MKSの圧力および真空制御のラインは下流弁のようなさまざまな装置をおよびコントローラー、上流弁およびコントローラー、真空の遮断弁および統合されたソリューション含んでいる。 MKSは合併排気のスロットルバルブ、高度のデジタル制御装置およびBaratron®のプロセス圧力計を統合しなさい下流の圧力制御サブシステムを製造する。 制御のラインはより速い設定値との高められた効率を、減らされたオーバーシュートまたはundershootおよび高められた稼働時間提供する。