エア分析器 Process Sense™

基礎組み込み式NDIR

プロセスSense™は半導体および沈殿部屋の血しょう部屋のクリーニングの完了を、定めるために適している。 圧力検光子はovercleaningによる部屋の腐食を最小にする。 その結果、部屋の生命サービスは延長である。 装置はすべての血しょう清浄作業のために有効である赤外線吸収から設計されている。 それはAMAT CVD用具のための完全なアップグレードキットで、提供される。 それはケイ素酸化物、窒化珪素、polysiliconを含む異なった適用とシランかTEOSプロセスで利用することができる。