ピエゾ抵抗型真空ゲージ 901P

この項目に関する最初の側面は、ロードロック環境用に特別に作成された設計です。 901 plusは、圧電マイクロピラニ技術を組み合わせたデバイスです。これは真空センサに関して高度な追加です。 次に、出力は組み合わせたものであり、従来の熱伝導率ゲージよりも高速な応答時間とともに、より高い安定性、精度、再現性を提供します。 特長と利点の面では、単一トランスデューサの3センサ機能と、スペースと時間を節約できる超小型設計は、重要な追加機能のうちの2つにすぎません。 診断、操作、セットアップに使用できるソフトウェアを使用できます。また、パッケージには 3 つのオプションのセットポイントとオプションのローカル表示も含まれています。