リニア軸受ユニット ROTOGUIDE

エアクッション

究極の位置決め精度 ROTOGUIDEのエアベアリングを備えたマイクロジェット技術は、究極の精度、耐荷重能力、堅牢性を提供します。 シャフトとベアリング部品は、µm 以内の位置決め精度を実現するために、超高精度に機械加工されています。 超高真空 ROTOGUIDEユニットは、超高真空下での高精度な直線運動および回転運動、および清浄度と精度の点で究極の要求を持つすべてのプロセスに特に適しています。