フッ素樹脂フィルターの代わりに高強度で信頼性の高い代替品です。
FiltersMott は、ウェハー・ファブ内のユーティリティ・ラインやガスパッドのフロー・ストリームのろ過要件に対応する高強度の全金属ソリューションを提供します。 これまで使用されていたテフロンベースのフィルタとは異なり、モットのユーティリティラインおよびバルクフィルタは高温および圧力スパイクによる故障の影響を受けません。 Mott GasShield® バルクガスフィルターは、購入日から15 年間保証されています。
最適なろ過媒体。
モットフィルタは、卓越したろ過特性を提供する特許取得済みの焼結ニッケル多孔質媒体で構成されています。 この媒体は、圧力および流れの変動による故障の影響を受けにくく、ガス供給システムの加熱乾燥中に浄化器の下流に遭遇する可能性のある高い温度に最適です。 すべてのモット高純度フィルタと同様に、ユーティリティラインおよびバルクフィルタは、0.003µmまでの粒子の9 対数ろ過を提供します。 さらに、フィルタの流量対差圧性能は、現在市場で販売されている競合製品 Teflon® 製品の性能と同等かそれ以上です。
9 ログ削減値。
0.003μmまでの全ての粒子を99.999999999% 以上除去し、0.08μmという最も浸透粒子サイズで確認しました。
---