空気ディフューザー

歩留まりを損なうことなく、スループットを最大化する方法。 歩留まりに影響を与えずに工具のスループットを向上させる簡単な手段は、半導体回路の実際の形成に関係しないステップの速度を上げることです。 そのようなステップの1つは、ロードロックチャンバの再加圧または「ベント」であり、クリーンルームからチャンバへの粒子の移動を阻害する正圧環境を作り出します。 課題：粒子を乱さずに加圧する。 チャンバーは汚染された環境であり、加圧によって内部に含まれる粒子が妨害され、ウェーハの表面に落下する可能性があります。 課題は、できるだけ早く加圧することですが、粒子を妨害する可能性のあるガスのジェットを作り出すことはありません。 ソリューション: モットガスシールド® POU (ポイントオブユース) ディフューザー. モット多孔質金属は、シャワーヘッドとシンプルな1/4インチの入口ラインから見られる不利な「ジェット」効果なしに、ロードロックの「ベント」時間を大幅に短縮できます。 多孔質金属は、パージガスの速度を低下させ、チャンバへのガスの均一な層流を確保します。 モットディフューザーに代わる方法は、1 つ以上の流れを作成します。, おそらく非層流, ガスのジェット. 当社のディフューザーは、比較して、表面全体で ± 5% までの均一な流速が試験されています。