ガスディフューザー GasShield®

Mott Gasshield ガス ディフューザーは、均一で層流のガス流を供給し、粒子の乱れを最小限に抑えます。 彼ら 0.0015 μm を超える粒子を効果的に除去してウェーハの品質を向上させ、6,000,000 サイクル以上の寿命を実現するため、半導体製造にとって信頼できる選択肢となります。