セラミックプレート

棒状管ディスク

カスタム多孔質セラミックやアルミナセラミックなどの Mott の高純度多孔質セラミックは、特定の誘電破壊、機械的強度、およびフロー要件を満たすように調整可能な多孔度と細孔サイズで設計されています。 汚染を低減する当社の高純度アルミナ（純度最大 99.999%）セラミック部品は、優れた耐熱性、電気絶縁性、プラズマ耐性、および過酷な環境における不活性性を備えています。 モット セラミック プラグを含む当社の高純度セラミック技術は、従来の印刷機能と 3D 印刷機能の両方を活用して、お客様独自のアプリケーション要件に合わせてカスタマイズできます。革新的なカスタマイズのリーダーとして、当社の従来の多孔質セラミック材料は、小さな多孔質セラミック チューブやブッシングからディスク、プレート、その他のフォーム ファクターまで、さまざまな形状に加工できます。複雑な形状の場合、当社の 3D 印刷プロセスにより、静電チャック (E チャック セラミック) 用プラグなど、半導体デバイス製造アプリケーションで必要な重要な機能の正確な精度と再現性が得られます。