ガスフィルター

ストレーナーほこり大流量

統合ガスシステム（IGS）アセンブリ用に特別に設計された高精度、高流量の全金属ろ過。 Mott High Purity（モット高純度）は、半導体製造向けに多孔質金属フィルタとフローリストラクタを長年にわたって提供してきました。また、これらの同じ製品をIGS 互換の設計で提供しています。 だから今、あなたは、取り付けの容易さを組み合わせることができます, スティックコンポーネントのアクセシビリティ, メンテナンスの容易さ, 削減アセンブリ時間とIGSの典型的なコンポーネント間の互換性, モットによって排他的に提供される選択と性能の利点と. Mott の使命は、要求の厳しい動作条件、9 LRV 効率、および厳密な流量制御のために特別に設計された材料を使用して、独自のろ過および流量制御ソリューションを顧客に提供することです。 当社のIGSフィルタおよびフローリストリクタ製品の全製品ラインは、SEMI 2787に基づいて、プロセスツール、ガスキャビネット、バルブマニホールドボックスの設置で現在指定されているガスシステムのインターフェースとの互換性を保つように設計されています。 300mm 変換の課題が現れるにつれ、当社の技術は必要なソリューションを提供してきました。 高い流量 — モット多孔質金属媒体は、競合他社よりも幅広い流量、材料、構成オプションの生産を可能にする独自の特性を持っています。 この柔軟性の高い形状により、業界のエンベロープ要件を満たしながら、最大 100 slpm の流量定格を備えたフィルタが提供されます。 幅広い製品構成 — Mottの標準 IGSモジュラーマウント製品には、C-SealまたはW-Sealを使用した1.125インチ構成、およびC-SealまたはW-Sealを使用した1.5インチバージョンが含まれます。 私たちはあなたが必要とするデザインを持っています。