ウェハー用計量システム PV-1000 series

太陽電池／光電池ウェーハのインプロセスモニタリング用 太陽電池ウェハーやその他の材料のインプロセスモニタリングのためのマルチチャンネル厚さ、TTV、反り測定モジュールです。 特徴 ラックあたり最大3つの厚みチャンネル 独自のMTIIプッシュプルキャパシタンスプローブは、すべてのウェハタイプに対応 最小、最大、平均、合計の厚み変動測定 弓形測定（3組のプローブが必要） データ取得と制御を統合したエレクトロニクス 高速イーサネット通信ポートにより、最大5枚/秒の生産速度に対応 厚みラインスキャン回数の増加に対応する拡張性 デジタルI/Oにより、既存のウェハーハンドリング装置とのインターフェイスが可能 Windows® ベースの制御プログラムにより、ローカルまたはリモートのデータ監視が可能 Windows® ベースのDLLパッケージにより、既存の制御用PCとの統合が可能 標準サイズとカスタムサイズのプローブを用意 太陽電池/ソーラー測定システムについて 太陽電池ウェハーやその他の材料のインプロセスモニタリングのためのマルチチャンネル厚さ、TTV、反り測定モジュール。