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超音波PROスプレーコーターは、微小液滴と均一性が要求される超音波スプレーコーティングによる薄膜形成を完全自動化した装置です。
スプレーコーティングによるLBL
技術紹介
静電自己組織化多層膜(ESAM)法は、成膜プロセスを加速するために改良することができます。アニオンとカチオンの異なる水溶液に基板を浸す代わりに、これらの水溶液を高圧スプレー装置で噴霧することで、コーティング時間を数分から数秒に短縮することができます。
噴霧を自動化するためには、噴霧ノズルや基板に動きを与える機構に加え、各噴霧器の起動・停止を制御する電空システムが必要です。
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