絶対圧力センサ UCS2

静電容量式耐腐食性

UCS2 セラミック容量性圧力センサー 測定原理 Ceracore UCS2 セラミック静電容量式圧力センサーは、多くの侵食性の高いガスや液体に対して高い耐性を持つAl2O3 (99.9 %)のセラミック材料です。円筒状のセラミック部品（ダイアフラム、メーター本体）が接着され、高強度で密閉された圧力センサーエレメントを形成しています。絶対圧センサーでは、製造工程でダイアフラムとメーター本体の間に発生する3.0 x 10-6 mbarの真空度が永久的に維持されます。これにより、真空に関連した圧力測定が可能になります。ゲージ圧力センサーでは、ダイアフラムの背面は通気されています。電気的には、センサ素子は板状のコンデンサを表し、その容量変化が圧力変化の寸法となります。静電容量式測定プロセスは、分解能と再現性に関する最高の要件を満たしています。材料であるAl2O3のヒステリシスのない挙動と相まって、センサの優れた仕様の基礎となっています。さらに、Ceracore UCS2/UC2は乾式測定セルであり、測定に影響を及ぼす可能性のある分離ダイアフラムや充填液がありません。静電容量式セラミックセンサのもう一つの利点は、その高い過負荷耐性です。過負荷を除去した後は、損傷やヒステリシスを起こすことなく初期位置に戻ります。 乾式静電容量式セラミックセンサ 基本セラミック材料（９９． * 極めて高い過負荷の限界 * 絶対的な耐摩耗性 * 高温安定性 * 高い長期安定性 * ヒステリシスなし * 耐食性