ELMT-XYシリーズリニアモータステージはクロスローラーガイドとリニアモータを組み合わせ、大きな中空構造を持っており、従来のメカニカルガイドでは、特に小さなステップや超精密位置決めアプリケーションのシナリオのために、真直性と平坦性を一致させることはできません。これは、精密光学デバッグ、インストールおよび処理のための優れたアプリケーションの選択肢です。顕微鏡下でも優れた運動性能リニアガイドレールの平坦度、真直度が非常に優れている ● 鉄芯リニアモータにより、十分なシステム剛性と動的性能を確保 ● 静かで滑らかな使用音、非常に低いノイズ ● 非常に高いレベルの精密性能
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高精度リニアモータステージ
高精度Xyリニアステージ
Xyステージマイクロメーター
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