高精度ポジショニングステージ ELMT-XY
XY軸リニア サーボ モーター2軸

高精度ポジショニングステージ
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特徴

方向
XY軸
タイプ
リニア サーボ モーター
軸の数
2軸, 6 軸
その他の特徴
高精度, ダイレクトドライブ, クロスローラー
ストローク

100 mm, 200 mm, 300 mm
(3.937 in, 7.874 in, 11.811 in)

速度

500 m/s
(1,640.42 ft/s)

繰返し精度

0.3 µm

積載量

8 kg, 15 kg, 30 kg
(17.64 lb, 33.07 lb, 66.14 lb)

詳細

ELMT-XYシリーズリニアモータステージはクロスローラーガイドとリニアモータを組み合わせ、大きな中空構造を持っており、従来のメカニカルガイドでは、特に小さなステップや超精密位置決めアプリケーションのシナリオのために、真直性と平坦性を一致させることはできません。これは、精密光学デバッグ、インストールおよび処理のための優れたアプリケーションの選択肢です。顕微鏡下でも優れた運動性能リニアガイドレールの平坦度、真直度が非常に優れている ● 鉄芯リニアモータにより、十分なシステム剛性と動的性能を確保 ● 静かで滑らかな使用音、非常に低いノイズ ● 非常に高いレベルの精密性能 前へ: E-LMT-XYZ(高精度一体型XYZ軸ステージ) 次へHEX-S6.50.200 6軸トライポッド構造体 パラレル6自由度ステージ 高精度リニアモータステージ 高精度Xyリニアステージ Xyステージマイクロメーター

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