高精度ポジショニングステージ E-LMT-XY

Z軸リニア サーボ モーターボイスコイル

直進性と平坦性に優れた昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重によりピッチとヨーの性能が向上します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニア位置決めステージと比較して、より優れたピッチとヨーの性能を提供します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみの原因となる垂直取り付けリニア位置決めステージに比べ、ピッチとヨーの性能が向上します。 ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT-Zは、ボイスコイルモーターで内部駆動され、エアフローティング搬送レールを装備しています。 エアフローティングトランスファーレール（クロスボールガイドレールも使用可能）を装備し、ループを閉じるために高分解能グレーティングを使用しています。 高性能ドライバーを搭載し、位置決めステージの最小変位と繰り返し精度を確保。 位置決めステージの最小変位と再現性を保証する高性能ドライバーを装備しています。 コンピュータ制御、ソフトウェア、プログラミング