XYZ軸ポジショニングステージ E-TRI-R5

電動式3軸精密

3自由度のパラレル・キネマティック・デザインにより、シリ アル・キネマティック・システムよりも大幅にコンパクトで剛性が高く、高いダイナミクスを実現：高い信頼性、摩擦の低減 TRI軸パラレルモーションステージ 弊社が得意とする製品です。他のハイエンド多自由度プラットフォームと比較して、高いコストパフォーマンスを持っています。 3軸パラレル構造を採用し、各軸にステッピングモータまたはサーボモータを搭載可能。コントローラ内部の独自の制御アルゴリズムにより、高精度な制御を実現； システム全体の剛性を最適化； プラットフォーム中央部に透明な開口部がある場合があります； 用途：科学研究、マイクロマニピュレーション、バイオテクノロジー、半導体製造など。 ステッピングモーターは特に低速に適しています。非常に正確に制御でき、高精度を保証します。摺動接点を使用しないため、スムーズに動作し、摩耗がなく、長寿命です。 六脚シミュレーションツール シミュレーションソフトウェアは、六脚の作業スペースと負荷容量の限界をシミュレートします。 産業と研究微細加工、医療技術、工具検査。 移動範囲は±5 mm / ±2.5° です。 耐荷重20 kg 繰り返し精度 ±0.2 µm 速度 5 mm/s パラレル・キネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエーターが1つの移動プラットフォームに直接作用します。