卓上ポジショニングステージ MiniSCAN

リニアXY軸Z軸

iniSCANシリーズ MiniSCANシリーズは弊社が最近発売した高精度デスクトップ型スキャンシステムです。機械全体は安定性に優れた大理石ベースを採用し、高精度のXY軸とZ軸モーションステージを搭載し、光路設置と照明を予約しています。機構は非常に迅速に顧客の要求を満たす様々なアプリケーションに組み合わせることができます。現在、半導体ウエハースキャニング、生物検出、干渉計測定などの高精度アプリケーションで大きな成功を収めています。MiniSCANシリーズの主な特徴 標準的なデスクトップレベルの防振システム 3軸オプションの高精度リニアモータまたは高安定ステッピングモータモーションステージ 駆動制御システムはマシン構造全体に組み込まれており、追加のコントロールボックスは必要ありません カスタマイズされた照明とイメージング機構は、顧客の要件に応じて選択することができます 0.2umレベルのオートフォーカスを実現するオプションの高精度測距モジュール オプションの標準制御ソフトウェア、および完全で豊富かつ高速な二次開発パッケージ。