リニアポジショニングステージ E-NFZ240-Z series

縦型リニアモータ駆動重荷重用

デザインの特徴 高性能スキャンと検査用に設計 すべてのエアベアリング表面でアクティブなエアプリロードを実現 リニアエンコーダフィードバックによるサブナノメーターの分解能 高荷重に対する高い剛性と優れた幾何学的性能 50mmと100mmの移動量 カウンターバランス内蔵 エアベアリング設計による高い動的性能 E-LMT145-Zは、垂直面と水平面の両方にエアオンエアの予圧を組み込んでいます。対向する薄膜の圧力が、ベアリングの公称隙間公差を維持します。この設計に加え、大きな表面積に荷重を分散させる大きなエアベアリング表面により、重荷重やオフセット荷重に理想的な優れた剛性を持つステージを実現しています。 独自の製造技術により、卓越した幾何学的特性を持つステージが生み出され、優れたピッチ、ロール、ヨー、真直度、平面度の仕様により、性能を最大限に引き出します。 このステージの原動力は、Precision-stageシリーズのブラシレスリニアサーボモーターです。アイアンレスフォーサーを採用しているため、コギングや吸引力がなく、滑らかな動きを実現している。 当社の完全非接触エアベアリング、非接触リニアモータドライブ、および非接触フィードバック装置は、機器に期待される高い性能レベルで長年にわたってメンテナンスフリーの動作を保証します。可動部間の機械的接触がないため、E-LMT145-Zは経年による摩耗や性能低下がありません。寿命は事実上無制限であり、潤滑がなく、クリーンで乾燥した気体のみであるため、エアベアリングはクリーンルームや医療用途に理想的です。