空気軸受ポジショニングステージ EABRX-M 200

回転電動式測定用

真円度、平面度、形状誤差の測定を含む表面形状測定技術 -マイクロおよびナノトモグラフィー -ビームラインおよびシンクロトロン研究 -ダイヤモンド切削、研削、その他の高性能工作機械を含む精密製造 アプリケーション -光学アライメント、検査、校正システム -高精度設計 -EABRXシリーズは、最も厳しい性能要件も常に満たすよう、綿密に設計されています。 設計されています。その中核にあるのは、業界をリードするエアベアリング技術です。 高い剛性と耐荷重性能で、ナノメートルレベルの誤差を実現します。