リニアポジショニングステージ EC-ABL260 Series

電磁駆動精密空気軸受

トラベルレンジ 200mm～600mm 耐荷重25kg エアベアリングデザイン 一般的なエアベアリングステージよりも断面が小さく、耐荷重性能を犠牲にしていません。エアベアリング面が大きいため剛性に優れ、高負荷に対応します。独自の製造 独自の製造技術により、卓越したピッチ、ロール、ヨー特性を実現しました。 このステージの原動力は、Precision-stageブラシレスリニアサーボモーターです。アイアンレス・フォーサーを採用しているため、コギングや吸引力がゼロ。ステージは摩擦がなく、モーターはゼロコギングであるため、極めて微細な分解能を達成することができます。 非接触エアベアリング、非接触リニアモータードライブ、非接触フィードバック装置により、機器に期待される高い性能レベルで、メンテナンスフリーの動作を何年も保証します。可動素子間の機械的接触がないため、E-EC-ABL-Xは経年による摩耗や性能低下がありません。寿命は事実上無制限であり、潤滑がなく、クリーンで乾燥した気体のみであるため、エアベアリングはクリーンルームや医療用途に理想的です。 位置決めシステムは、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適です。 摩擦のない動きにより、パーティクルが発生しないため、ステージはクリーンルーム用途に最適です。