リニアポジショニングステージ ABW400 series

XY軸縦型電動式

スキャニング用途や高精度位置決めに最適 クリーンルーム対応 動作プラットフォームサイズ 400 mm × 138 mm 移動範囲 200 mm～1000 mm 分解能 5 nm ステージは、プリロード・エアベアリングと内蔵リニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモーターを装備しています。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現します。 高出力リニアモータは、ステージを数ミリ秒で最高速度まで駆動でき、大容量ベアリングは最大 20kg の可搬重量をサポートできます。このモデルでは、横方向に対向したアクティブプリロードエアベアリング設計により、あらゆる方向への取り付けが可能です。 エンコーダー フィルターおよびエア供給キット 単軸および多軸モーションコントローラ XYセットアップと個別設定 ケーブルトラックのバリエーション 垂直（Z）方向のカウンターウェイト付きオプション カスタマイズ可能 花崗岩製のベースプレートと振動低減システム 位置決めシステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャニングなど、多くの高精度アプリケーションに最適です。 摩擦のない動きのため、パーティクルが発生せず、クリーンルーム用途に最適です。