縦型ポジショニングステージ E-ABR100

回転電動式精密

クリーンルーム対応 動作プラットフォーム直径 100 mm ～ 300 mm 偏心と平面度 < 100 nm 垂直または水平に取り付け可能 デザインの特徴 クラス最高の回転運動を実現し、高精度プロセスの最適化に貢献します。 軸方向、半径方向、傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減します。 モーションクオリティを犠牲にすることなく、余裕のある耐荷重性を実現 小型・軽量のフォームファクター、水平・垂直方向の取り付け、および耐荷重性能により、精密システムや機械に容易に統合可能 主な用途 E-3R-NGステージは、以下のような高精度アプリケーションに最適です： 真円度、平面度、形状誤差の測定を含む表面形状測定。 マイクロおよびナノトモグラフィー ビームラインおよびシンクロトロン研究 ダイヤモンド切削、研削、その他の高性能工作機械アプリケーションを含む精密製造 光学アライメント、検査、校正システム 精密のための設計 E-ABR100シリーズは、最も厳しい性能要件をも常に満たすよう、綿密に設計されています。その中核となるのは、業界をリードするエアベアリング技術であり、高い剛性と耐荷重性を備えながら、ナノメートルレベルの誤差運動性能を実現しています。 シンプルでわかりやすい統合