-クリーンルーム対応
-垂直または水平に取り付け可能
-ダイレクトドライブ、回転式エアベアリングステージ
-アナログおよびデジタル位置フィードバック
製品概要
クラス最高の回転モーションを提供し、高精度プロセスの最適化を支援
軸方向、半径方向、傾斜方向の誤差を最小化し、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を低減
測定データ
高分解能フィードバックによる優れた位置決め性能と速度安定性
超精密モーション性能に貢献する斬新な非影響型モーター設計を採用
モーションクオリティを損なうことなく、余裕のある負荷容量を提供
コンパクトで軽量なフォーム・ファクター、水平および垂直の取り付けと負荷能力により、精密システムや機械に容易に統合可能。
縦置き、横置きが可能
どんな向きにも取り付け可能
様々なオプションを組み合わせることで、ポイントツーポイントインデキシングや等速スキャニングに理想的なソリューションを構築できます。
E-ART160ステージは、優れた移動精度、平坦性、ふらつき性能を提供します。摩擦がなく
クリーンルームでの使用に最適です。
-トルクモーター
-ブラシレス
-スロットレス
-低コギングトルク
-アナログおよびデジタル位置フィードバック アブソリュートエンコーダ(オプション)
アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明確な位置情報を提供します。
そのため、スイッチオン時に参照する必要がなく、運転中の効率と安全性が向上します。
-アクセサリーとオプション
-エンコーダ
-オプションのチップ/チルトプラットフォーム
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