リニアポジショニングステージ ABL250 series

電動式精密空気軸受

スキャニング用途や高精度位置決めに最適 クリーンルーム対応 モーションプラットフォームのサイズ 250 mm × 90 mm 移動範囲 100mm～600mm 負荷容量 200 N エアベアリング設計 E-EC-ABL-Xについて E-EC-ABL-Xは、一般的なエアベアリングステージに比べ、荷重性能を犠牲にすることなく断面を小さくしています。エアベアリング面が大きいため剛性に優れ、高負荷に対応します。独自の製造技術 独自の製造技術により、卓越したピッチ、ロール、ヨー特性を実現しました。 このステージの原動力は、Precision-stageブラシレスリニアサーボモーターです。アイアンレス・フォーサーを採用しているため、コギングや吸引力がゼロ。ステージは摩擦がなく、モーターはゼロコギングであるため、極めて微細な分解能を達成することができます。 非接触エアベアリング、非接触リニアモータードライブ、非接触フィードバック装置により、機器に期待される高い性能レベルで、メンテナンスフリーの動作を何年も保証します。可動素子間の機械的接触がないため、E-EC-ABL-Xは経年による摩耗や性能低下がありません。寿命は事実上無制限であり、潤滑がなく、クリーンで乾燥した気体のみであるため、エアベアリングはクリーンルームや医療用途に理想的です。 位置決めシステムは、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適です。