上下可動域 25mm または 30mm
最小ステップ 100nm
負荷容量6kgまで
直接測定リニアエンコーダーオプション
ステッピングモーター駆動
クロスボールレール
薄型高精度垂直移動ステージプラットフォーム
E-SST160-Z50垂直ボイスモータステージプラットフォームは、サブミクロン分解能の高精度Z軸モーションを提供し、最大6kgまでの荷重に対応します。垂直マウントのリニアステージとは異なり、高剛性プラットフォームコンセプトは、ベアリング性能および/または動作の真直性に影響を与えるモーメント荷重を回避しながら、ペイロードに360度アクセスできる、はるかに低いプロファイルを可能にします。
直進性と平坦性に優れた昇降ステージ
垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみを引き起こす可能性のある垂直取り付けリニア位置決めステージと比較して、より優れたピッチおよびヨー性能を提供します。
ボイスサーボモータによる高分解能リニアモーション E-SST160-Z50は、ステッピングモータで内部駆動され、クロスボールガイドレールを装備し、ループを閉じるために高分解能グレーチングを使用し、位置決めステージの最小変位と再現性を確保するために高性能ドライバを装備しています。 大きなパフォーマンスを達成します。
E-SST160-Z50 Z軸ステッピングモーター昇降テーブル2 (2)
コンピュータ制御、ソフトウェア、プログラミング
E-ABVT-ZシリーズのZステージを操作するために、単軸および多軸の高性能モーションコントローラを選択できます。Precision-stageは、試運転と簡単な操作のためのドライバとソフトウェア、および一般的なプログラミング言語によるプログラム例を提供しています。
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