E-LMT-XY (高精度リニアモータステージ) XY リニアモータモーションステージ
簡単な説明
移動範囲 100 mm × 100 mm または 200 mm × 200 mm
一方向の繰り返し精度 0.3 µm
アイアンレス 3 相リニアモータ
速度 500 mm/s インクリメンタル
分解能 4.88 nm のリニアエンコーダ
クロスローラガイド
リニアモーター
リニアモーターは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレインに機械部品を使用せず、駆動力を直接、摩擦なしでモーションプラットフォームに伝達します。リニアモータは高速、高加速度に対応します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決め作業に特に適しています。このため、最低速度でもスムーズな走行が可能で、同時に高速度での振動もありません。制御動作における非線形性は回避され、どのような位置でも簡単に制御することができます。
インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置計測
非接触の光学式エンコーダは、最も高い精度でプラットフォームで直接位置を測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。ご要望に応じ、さらに広い移動範囲を提供します。
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