E-GLMT-XY(高精度リニアモータステージ)XYリニアモータステージ
簡単な説明
リニアモーター
リニアモータは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレインに機械部品を使用せず、駆動力を直接、摩擦なしでモーションプラットフォームに伝達します。リニアモータは高速、高加速度に対応します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決め作業に特に適しています。このため、最低速度でもスムーズな走行が可能で、同時に高速度での振動もありません。制御動作の非線形性が回避され、どのような位置でも簡単に制御できます。駆動力は自由に設定できます。
インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定
非接触光学式エンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。ご要望に応じて、さらに広い移動範囲にも対応可能です。
医療産業レーザー切断スキャニングバイオテクノロジー計測AOI(自動光学検査)レーザーマーキング
移動範囲 250 mm × 250 mm または 360 mm × 360 mm
精度1 µm
アイアンレス 3 相リニアモータ
速度 500 mm/s
分解能4.88nmまたは1nmのインクリメンタルリニアエンコーダ
循環式リニアボールベアリング
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