傾斜ポジショニングステージ E-ABT-XY-360X360

リニアXY軸圧電

E-ABT-XY-360X360（セラミックリニアモータステージ）XYエアベアリングリニアモータステージ 簡単な説明 セラミックバージョンは、エアフローティング構造とガイドエレメントとして高純度アルミナを使用しています。アルミナセラミックスは、花崗岩や金属に比べて膨張係数が小さく、真直性、硬度、耐摩耗性の利点があります。 スキャニング用途や高精度位置決めに最適です。 クリーンルーム対応 360mm×360mmの移動範囲 耐荷重500N 分解能 4.88nm または 1nm、速度 500mm/s インクリメンタルエンコーダまたはアブソリュートエンコーダ 最高の精度と性能を提供するアルミナセラミック製もありますが、価格は高くなります。 フィルターおよび空気準備キット 追加軸 マシンベース 花崗岩製のベースプレートと振動低減システム チップ/チルトプラットフォームやピエゾドライブ付き6軸ポジショナーなどの追加ポジショナーに適したマウント 位置決めシステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ製造だけでなく、計測、フォトニクス、精密スキャニングなど、多くの高精度アプリケーションに最適です。 長寿命、クリーンルーム対応のドラッグチェーン E-ABT-XY-360X360は、高品質で長寿命のリボンケーブルと空気圧ホースを採用しています。広範な研究開発の結果、最適化されたケーブルマネジメントシステムにより、数百万回のメンテナンスフリーを実現しました。テフロンコーティングにより、パーティクルの発生を低減 摩擦のない動きにより、パーティクルが発生しないため、PIglideステージはクリーンルーム用途に理想的です。