リニアポジショニングステージ EC-ABL series

電動式単軸多軸

E-EC-ABL-Xシリーズリニアモータプラットフォームは、エアベアリングガイドレールと鉄芯リニアモータを組み合わせた方式を採用しており、従来の機械式ガイドレールとは比較にならない直進性と平坦性を備えています。これは、精密光学デバッグ、インストールおよび処理のための優れたアプリケーションの選択肢です。 エアベアリングリニアガイドは、非常に優れた平坦性と真直度を持っています。 鉄芯リニアモータは、十分なシステム剛性と動的性能を保証します。 極めて低騒音で、静かで安定した動作 非常に高いレベルの精密性能 スキャニング用途や高精度位置決めに最適 クリーンルーム対応 動作プラットフォームのサイズ 210 mm × 100 mm 移動範囲 200 mm ～ 500 mm 分解能 100nm または 1nm ステージは、プリロード・エアベアリングと内蔵リニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモーターを装備しています。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現します。 高出力のリニアモータは、ステージを数ミリ秒以内に最高速度まで駆動でき、大容量ベアリングは最大 10kg の可搬重量をサポートできます。このモデルでは、横方向に対向したアクティブプリロードエアベアリング設計により、あらゆる方向への取り付けが可能です。