縦型ポジショニングステージ E-ART160

回転電動式精密

E-ART160 エアベアリング付き回転ステージ エアベアリング付き回転ステージ 簡単な説明 クリーンルーム対応 動作プラットフォーム直径180mm～300mm 耐荷重 650N 偏心と平面度 < 100 nm ダイレクトドライブ、回転式エアベアリングステージ ● 垂直または水平に取り付け可能 アナログおよびデジタル位置フィードバック クラス最高の回転モーションを提供し、高精度プロセスの最適化を支援 軸、ラジアル、傾き誤差モーションを最小化し、部品と測定データの大規模な後処理の必要性を低減 高分解能フィードバックにより、優れた位置決め性能と速度安定性を提供 超精密モーション性能に貢献する、影響を与えない斬新なモーター設計 モーション品質を損なうことなく、余裕のある負荷容量を提供 小型・軽量のフォームファクター、水平・垂直方向の取り付けと負荷容量により、精密システムや機械に簡単に統合可能 電動回転ステージのE-ART160は、精度、精密さ、高剛性、使いやすさを追求して設計されており、どのような向きにも取り付けることができます。 様々なオプションを組み合わせることで、ポイントツーポイントインデキシングや等速スキャニングに理想的なソリューションを作り出すことができます。 E-ART160ステージは、優れた移動精度、平坦性、ふらつき性能を提供します。摩擦がなく、メンテナンスや潤滑が不要なため、クリーンルームでの使用に最適です。 トルクモーター ブラシレス スロットレス 低コギングトルク アクセサリーとオプション アナログおよびデジタル位置フィードバック アブソリュートエンコーダ（オプション）