マイクロメーターポジショニングステージ E-SVMMS60-X25

リニアリニアモータ駆動単軸

インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。