6軸六脚トライポッド構造体 E-HEX-10.6.100.100-XXXシリーズ 平行6自由度ステージ
簡単な説明
特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm
コンパクトで堅牢なステージで、安定した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、使用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。
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