高精度ポジショニングステージ E-TRI-VM-R1

Z軸回転電動式

E-TRIシリーズ E-TRI-VM-R1 平行移動ステージ 簡単な説明 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。