XSTS-C、XWSS-Cはいずれもステンレス製の一体構造のスプリングカップリングです。
円筒状の部材にスリットを入れています。
耐食性に優れたSUS316L製です。
クリーンルーム洗浄・クリーンルームパッキン付です。FPD製造装置や半導体デバイスなど耐薬品性が要求される用途向けです。
高屈曲タイプのXSTS-CとショートタイプのXWSS-Cを用意しています。
XSTS-Cはスリットで形成された板バネを使用しているため、偏心・偏角・エンドプレイが許容されます。
アプリケーション
FPD製造装置/半導体製造装置/オフショア機器
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