MOHSはオルダムタイプのフレキシブルカップリングです。
スペーサーには、耐熱性、耐薬品性に優れたエンジニアリングプラスチック「VESPEL SPC5000」を採用し、高温時のアウトガス量が非常に少なくなっています。
ハブとスペーサーのズレにより、偏心や角度のズレを許容します。
ミスアライメントによって発生する軸への負荷が小さく、軸への負担を軽減することができます。
許容動作温度は-20℃~200℃です。
クリーンルーム洗浄/クリーンルーム用パッキンを標準装備。
FPD製造装置など、耐熱性や耐薬品性が要求される環境やクリーンルームでの使用が可能です。
用途
FPD製造装置 / 半導体製造装置
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