MOP-Cはオルダムタイプのフレキシブルカップリングです。
スペーサーには、耐熱性・耐薬品性に優れたエンジニアリングプラスチックPEEKを採用し、アウトガスの発生量も極めて少ない。
ハブとスペーサーの摺動により、偏心や角度のずれを許容することができます。
ミスアライメントにより発生する軸への負荷が小さく、軸への負担を軽減することができます。
許容動作温度は-20℃~120℃です。
クリーンルーム洗浄/クリーンルーム用パッキンを標準装備。
FPD製造装置など、耐熱性や耐薬品性が要求される環境やクリーンルームでの使用が可能です。
用途
FPD製造装置 / 半導体製造装置
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